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ARTICLES雷尼紹高精度激光干涉儀
中國慧眼,服務(wù)全球制造業(yè)
面對(duì)快速發(fā)展的智能裝備市場(chǎng),我們以檢測(cè)設(shè)備為根本,堅(jiān)持機(jī)器視覺領(lǐng)域,以技術(shù)為主導(dǎo)。在實(shí)現(xiàn)工業(yè)智能中國夢(mèng)的道路上前進(jìn)!
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),是迄今*的高精度、高靈敏度的測(cè)量儀器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測(cè)量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。
若光程差有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測(cè)量兩個(gè)光程之間的差異變化。
它的系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
雷尼紹高精度激光干涉儀
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